晶圆机器人
2018/5/25
特征
软硬件垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达±0.02mm，回转半径小，空间使用率高。
应用
適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。
规格资料
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項目 |
規格 |
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Z軸 |
行程 |
500mm |
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速度 |
250mm/s |
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T軸 |
運轉範圍 |
0゜~340゜ |
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角速度 |
250゜/s |
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R軸 |
行程 |
420mm |
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速度 |
750mm/s |
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重量 |
Approx. 48kg |
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潔淨度 |
ISO Class 2(ISO 14644) |
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壽命 |
60,000hrs |
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頂部安裝板 |
290x290 mm2 |
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工作環境 |
10~40℃ |
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重覆精度 |
±0.02 mm |
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載重能力 |
0.5Kgf |
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系統通訊 |
RS-232,I/O |
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真空度 |
-40kPa ~ -60kPa, Ø6 |
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電源 |
Single-Phase AC110V/AC220V |
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