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机械手臂

晶圆机器人

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2018/5/25     浏览次数:    

晶圆机器人


特征


软硬件垂直整合优势,并且采用高精密,高刚性直驱马达,重复精度达±0.02mm,回转半径小,空间使用率高。

应用


適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。

 规格资料


項目

規格

Z

行程

500mm

速度

250mm/s

T

運轉範圍

0~340

角速度

250/s

R

行程

420mm

速度

750mm/s

重量

Approx. 48kg

潔淨度

ISO Class 2(ISO 14644)

壽命

60,000hrs

頂部安裝板

290x290 mm2

工作環境

10~40

重覆精度

±0.02 mm

載重能力

0.5Kgf

系統通訊

RS-232,I/O

真空度

-40kPa ~ -60kPa, Ø6

電源

Single-Phase AC110V/AC220V


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